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自20世纪30年代末阴极射线管发明以来，工程师们利用第一批频谱分析仪观察信号功率与频率的关系，帮助他们实现雷达研制中的基本功能。40年代的频谱分析仪是基于扫频射频接收机的实验室成果。50-60年代真的有桌面谱分析仪。1964年，美国惠普公司推出第一台半自动spectrum 分析仪。70年代，随着YIG调谐器、集成电路、高性能微波晶体管和固态微波器件的研制成功，采样技术、频率合成技术、微波混合集成技术和数字技术的发展和应用，频谱分析仪如雨后春笋般迅速发展起来。

上个世纪以来，微处理器的普及和数字技术的应用推动了spectrum 分析仪的快速发展。目前，spectrum 分析仪已经实现了高分辨率、大动态范围、高灵敏度、CRT数字显示、数字存储和高可靠性的发展。现代计算机技术和数字信号处理技术(DSP)应用于频谱分析仪中，已成为现代频谱分析仪的发展趋势。

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