冷场发射扫描电子显微镜的原理,扫描电子显微镜冷场和热场的区别

2.0nm(1kV)、1.4nm(1KV)入射电子减速功能；(2)放大倍数:×20~×80万；(3)加速电压:0.5 ~ 30kV(4)X射线谱仪的分辨率/有效面积:不小于133eV，10mm2。2.热场-3扫描电子显微镜:(1)放大倍数:3590万倍；(2)分辨率:分辨率为1.0nm工作电压为15kV时；(3)加速电压:0.2kV 30kv；

电子显微镜(TEM)与投影光学显微镜原理非常相似。虽然它们的光源和镜头不同，但放大和成像的方式是完全一样的。在透射电子显微镜中，通常采用热阴极电子枪来获得电子束作为照明源。热阴极的电子在阳极加速电压的作用下高速穿过阳极孔，然后被聚光镜会聚成一定直径的束斑照射样品。这种具有一定能量的电子束与样品相互作用。生成反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或取向差异的各种信息。

经过三级放大的最终电子图像可以在荧光屏上获得，也可以记录在电子感光板或胶片上。扩展资料:电子显微镜，简称电子显微镜，英文名Electron microscope (EM)，经过50多年的发展，已经成为现代科技中不可或缺的工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜组成。

当分辨率在纳米和原子范围内时，扫描电子显微镜(sem)和原子力电子显微镜(afm)是当今我们可用的最有效的两种显微技术，各有优缺点。它们之间的根本区别在于它们在不同的环境中运行。Sem需要在真空环境下进行，而afm在空气或液体环境下操作。因此，如果要确定液体中细小颗粒的形态，afm更合适。通常，afm 扫描含水样品是通过将其和扫描探针放入液体中进行的，因为afm不是基于电导率，所以图像和扫描模块在液体中不会受到干扰。

显微镜的工作原理。显微镜是由一个透镜或几个透镜组合而成的光学仪器，是人类进入原子时代的标志。主要用于将微小物体放大成人类肉眼可见的仪器。显微镜可分为光学显微镜和电子显微镜:光学显微镜最早是1590年由让桑父子在荷兰发明的。现在的光学显微镜可以把物体放大1600倍，最小分辨率是0.1微米。我国显微镜的机械筒长度一般为160 mm。

(2)荧光显微镜，利用紫外光作为光源，使被照射物体发出荧光。电子显微镜1931年由Knohl和Ha Roska在柏林首次组装。这台显微镜使用高速电子束，而不是光束。由于电子流的波长比光波的波长短得多，因此电子显微镜的放大倍数可以达到80万倍，最小分辨率极限为0.2 nm。1963年使用的扫描 电子显微镜，可以使人看到物体表面的微小结构。

电子显微镜是根据电子光学原理用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，在非常高的放大倍数下制作物质图像的精细结构的仪器。电子显微镜的分辨能力用它能分辨的相邻两点间的最小距离来表示。70年代透射式电子显微镜的分辨率约为0.3 nm(人眼分辨率约为0.1 mm)。目前电子显微镜的最大放大倍数在300万倍以上，而光学显微镜的最大放大倍数在2000倍左右，所以可以通过电子显微镜直接观察到一些重金属的原子和晶体中有序的原子晶格。

STEM成像不同于一般的平行电子束TEM和EDS成像，是利用会聚电子束在样品上完成的扫描。在扫描模式下，场发射电子源发射发射电子，电子束通过磁透镜和样品前的光阑会聚成原子束斑，电子束光斑聚焦在样品表面后，通过线圈逐点控制样品的面积。每一点钟扫描，样品下的探测器同步接收散射的电子，每个扫描位置对应的探测器接收到的信号被转换成电流强度并显示在屏幕或计算机显示器上。