叙述气体传感器的原理与分类,mems气体传感器原理

Detect 气体利用半导体接触时电阻或功函数发生变化的特性气体。气体 传感器可分为阻性和非阻性两种。电阻器由SnO2、ZnO等金属氧化物材料制成，有多孔烧结件、厚膜、薄膜等形式。根据半导体与气体的相互作用是发生在表面还是体内，可分为表面控制型和体积控制型。表面控制电阻传感器包括SnO2系列传感器ZnO系列传感器其他金属氧化物(WO3、V2O5、CdO、Cr2O3等。)传感器和有机半导体。

这种传感器可以检测甲烷、丙烷、氢气、一氧化碳的还原性气体、氧气和二氧化氮的氧化性气体、胺类和水蒸气的强吸附性。非阻性-2传感器使用气体检测吸附和反应引起的功函数变化气体。可分为金属-半导体结二极管型传感器(-2/吸附在金属与半导体界面时二极管整流特性的变化)和MOS二极管型传感器(利用MOS结构检测CV特性的漂移气体)。

太多，你的问题太笼统，传感器涉及各种理化特性。要看你从什么分的，什么种类传感器。请参考:根据传感器 work 原理，可以分为物理传感器和化学传感器 work 两类。被测信号量的微小变化都会转换成电信号。化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器，被测信号量的微小变化也会转化为电信号。

大部分传感器基于物理学原理。化学传感器有很多技术问题，比如可靠性，量产的可能性，价格等等。解决这些问题后，化学传感器的应用会大大增加。根据其用途，传感器 May 分类分别是:压力灵敏度和力灵敏度传感器，位置传感器，液位传感器，能耗。-0/，辐射传感器，振动传感器，湿度传感器，磁性传感器，气体-

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1，原理1，压电传感器:基于压电效应传感器。是自发电型和机电转换型传感器。其敏感元件由压电材料制成。压电材料表面受力后产生电荷。这个电荷经过电荷放大器和测量电路放大，经过阻抗变换后，成为与外力成正比的电输出。压电式传感器用于测量力和可以转化为力的非电物理量，如压力、加速度等(见压电式压力传感器，加速度计)。其优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠、重量轻。

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低噪音、小电容、高绝缘电阻的配套仪表和电缆的出现，使得压电式传感器的使用更加方便。它广泛应用于工程力学、生物医学、电声学等技术领域。2.菌株传感器:菌株传感器在国内外应用广泛。它采用电阻应变片作为转换元件，将力、压力、位移、加速度、扭矩等非电参量转换成电量。

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气体传感器Yes气体检测系统的核心通常安装在探头内。本质上，气体 传感器是将气体的一定体积分数转换成相应电信号的转换器。探针使用气体 传感器来调理气体样品，通常包括滤除杂质和干扰气体、干燥或冷藏处理、样品抽吸，甚至对样品进行化学的化学处理。气体的采样方式直接影响传感器的响应时间。目前气体的采样方法主要是通过简单扩散法，或者气体被吸入检测器。

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目标气体穿过探针中的传感器产生与气体的体积分数成正比的信号。因为扩散过程是逐渐变慢的，所以扩散法要求探头的位置离测量点非常近。扩散法的一个优点是气体 sample直接引入传感器中，不经过物理化学转化。吸样探针通常用于在加工仪器或排气管附近取样。这种技术可以为传感器提供稳定的、速度可控的气流，所以在气流大小和速度经常变化的情况下，这种方法值得推荐。

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传感器传感器的定义是将物理量或化学量转换成易于使用的电信号的装置。IEC(国际电工委员会)的定义是:“传感器是测量系统中的前置元件，将输入变量转换成可测量的信号”。根据Gopel等人的观点，“传感器是一个包括载体和电路连接的敏感元件”，而“传感器 system是一个具有某种信息处理(模拟或数字)能力的系统”。

传感器将一种形式的能量转化为另一种形式的能量。有主动和被动两种，Active 传感器可以直接将一种形式的能量转化为另一种形式的能量，不需要外部能量或激发源。无源传感器不能直接转换能量形式，但可以控制从另一个输入端输入的能量或激发能量，传感器承担将一个对象或过程的具体特性转化为数量的任务。它的“对象”可以是固体、液体或气体，它们的状态可以是静态的，也可以是动态的(即过程)。